聚焦离子束高压电源

聚焦离子束(FIB)高压电源集成多输出通道的高精度高压电源。

系统包括：加速器电源，灯丝电源，抑制器电源，提取器电源以及透镜电源。电源具有极高的输出精度，时间稳定度，极低的温度漂移和纹波噪声。

聚焦离子束主要应用于沉积，粒子切割，透视；半导体分析、加工和维修；磁盘驱动器头平衡、离子束蚀刻和聚焦离子束印刷。