电子枪高压电源，通常是通过产生的高精度高压去加速一系列的电子枪的电子。
通常被高压电源加速的电子束，主要可用于扫描电子显微镜（SEM），电子探针（EPMA ），场发射俄歇电子能谱显微分析，关键尺寸扫描电镜，晶圆缺陷检测与瑕疵复查SEM，电子束光刻等应用。
电子枪高压电源除了提供用于加速电子束的高精度主加速高压电源，也有附加高稳定的灯丝电源，抑制器电源，引出电源，以及透镜电源。
电子枪高压电源
主加速电源
- 输出电压：± 30 K ~ ± 60 KV
- 设定分辨率：12bit ~ 16 bit
- 纹波噪声：< 2 ~ 9 ppm
- 温度系数：3 ppm/K ~ 5 ppm/K
- 电压绝对精度：< 0.5% ~ < 0.1 %
- 输出电流：100 uA ~ 1 mA
- 时间稳定度：5 ~ 100 ppm/h
灯丝电源 (Option)
- 输出电压：0 ~ 5 V
- 设定分辨率：12 ~ 16 bit
- 纹波噪声：<5mA ~ 10 mAp-p @ 3A
- 温度系数：10 ~ 200 ppm/K
- 电流绝对精度：0.01 A
- 输出电流：0 ~ 3.3 A
- 时间稳定度：20 ~ 200 ppm/h
抑制器电源 (Option)
- 输出电压：-0.03kV ~ -0.6 KV
- 设定分辨率：14 bit ~ 16 bit
- 纹波噪声：< 20 mVp-p ~ < 50 m Vp-p
- 温度系数：25 ppm/K
- 电压绝对精度：0.5 % ~ 1 %
- 输出电流：≤ 150 uA
- 时间稳定度：50 ppm/h
提取器电源 (Option)
- 输出电压：0.2 kV~ 8 kV
- 设定分辨率：16 bit
- 纹波噪声：< 30 mVp-p ~ 100 mVp-p
- 温度系数：5 ppm/K ~ 20 ppm/K
- 电压绝对精度：< 0.1 % ~ < 0.5 %
- 输出电流：≤ 200 uA ~ ≤ 1 mA
- 时间稳定度：10 ppm/h ~ 50 ppm/h
其他可选电源输出
- 静电透镜电源
- 栅极电源
- 偏置电源